一種方法,方法包括:獲得被配置用于基于輸入過程數(shù)據(jù)來預(yù)測(cè)制造過程的過程度量的一個(gè)或多個(gè)模型;以及基于將新的過程數(shù)據(jù)輸入到一個(gè)或多個(gè)模型,使用強(qiáng)化學(xué)習(xí)框架來評(píng)估一個(gè)或多個(gè)模型和/或一個(gè)或多個(gè)模型的模型配置,并且基于輸入新的過程數(shù)據(jù)來確定在預(yù)測(cè)所述過程度量時(shí)所述一個(gè)或多個(gè)模型和/或模型配置的性能指示。
聲明:
“用于預(yù)測(cè)與過程相關(guān)聯(lián)的過程度量的方法和設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)