本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶流體壓力測(cè)試功能的不銹鋼CMP裝置,涉及化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域,它包括拋光輥電機(jī)、拋光輥、矩形拋光液噴頭、電機(jī)支撐板、軌道、中空拋光帶、液壓升降裝置、絲杠、聯(lián)軸器、絲杠電機(jī)、流體壓力傳感器;本實(shí)用新型可以實(shí)時(shí)測(cè)試不銹鋼帶不同位置的流體壓力,同時(shí)也可以單獨(dú)測(cè)試不同拋光壓力下、不同拋光速度以及不同流量拋光液等情況下的流體壓力,拋光液輸送裝置采用矩形雙側(cè)噴頭,保證兩側(cè)的拋光輥上的拋光液進(jìn)給量相同,提高了拋光的效率,從節(jié)省空間的方面考慮,拋光機(jī)機(jī)架采用立式機(jī)架,空間利用率高,同時(shí)保證了拋光質(zhì)量,大大降低加工成本,以滿(mǎn)足人們的基本要求,具有很好的實(shí)用價(jià)值。
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