儀器簡(jiǎn)介
利用SPM系統(tǒng),可綜合采用PIXE、PIGE、ERD、RBS等離子束分析方法,實(shí)現(xiàn)多種元素成份分析;可測(cè)定微區(qū)元素分布??梢杂糜诓牧稀⑸镝t(yī)學(xué)、環(huán)境、地質(zhì)樣品的多種微量化學(xué)元素成份和微區(qū)結(jié)構(gòu)的無損分析。
性能指標(biāo)
(1)質(zhì)子微束空間分辨率1微米
(2)化學(xué)元素分析檢出限1ppm
(3)真空度優(yōu)于1*10-4 Pa
(4)探測(cè)系統(tǒng)包括真空靶室、前置放大和Si(Li)探測(cè)器,電子學(xué)系統(tǒng)包括高壓、主放、堆積排除、ADC轉(zhuǎn)換等,微機(jī)多道能譜儀。
測(cè)試項(xiàng)目
1、PIXE分析2、RBS分析3、ERD分析4、二維元素分布成像5、(特殊)微束實(shí)驗(yàn)。
樣品要求
不影響系統(tǒng)真空的無腐蝕性、無爆炸性、無劇毒性的粉體或塊體。