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ZnMgO紫外探測器及其制備方法

785 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:28:48

本發(fā)明提供一種ZnMgO紫外探測器及其制備方法，其中的方法包括：S1、以有機鋅化合物作為鋅源，以有機鎂化合物作為鎂源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底的表面生長ZnMgO薄膜；S2、在ZnMgO薄膜上使用負膠光刻形成叉指電極掩膜，在叉指電極掩膜濺射金屬后將叉指電極掩膜去除，形成叉指電極；S3、在叉指電極上按壓In粒，得到MSM結構的ZnMgO紫外探測器。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明通過增加氧氣流量、增加氧分壓、減少氧缺陷的方式，使得制備的ZnMgO薄膜具有結晶質量高、不出現(xiàn)分相、吸收截止邊陡峭等特點，混相結構的ZnMgO薄膜2能夠同時滿足高響應度和低暗電流，從而使ZnMgO紫外光電探測器具有更低的暗電流和更高的光響應速度。

聲明：

“ZnMgO紫外探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)