本發(fā)明提供了用于海水溫鹽深三參數(shù)同時(shí)測(cè)量的光纖傳感器及制備方法。在偏移纖芯一側(cè)通過飛秒激光刻蝕和化學(xué)腐蝕制作凹槽,之后通過旋轉(zhuǎn)加工平臺(tái),利用飛秒激光改變光纖折射率的特性,在偏移纖芯的另一側(cè)包層內(nèi)寫入一段弧形波導(dǎo),波導(dǎo)兩端均與纖芯連接,制作出雙馬赫曾德干涉儀(MZI)級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu)。將該傳感結(jié)構(gòu)封裝后形成傳感器。該雙MZI級(jí)聯(lián)傳感器的透射光譜在1300nm?1600nm波長范圍內(nèi)存在3個(gè)對(duì)比度不同的特征波長,且這3個(gè)特征波長對(duì)海水溫度、鹽度和深度的響應(yīng)靈敏度不同,通過特征波長的變化值并結(jié)合靈敏度矩陣得出相應(yīng)的海水溫鹽深信息。本發(fā)明提出的傳感元件結(jié)構(gòu)緊湊,機(jī)械強(qiáng)度和測(cè)量靈敏度較高,是實(shí)現(xiàn)海水多參數(shù)準(zhǔn)確測(cè)量的有效手段。
聲明:
“用于海水溫鹽深三參數(shù)同時(shí)測(cè)量的光纖傳感器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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