本發(fā)明提供了一種ZnGa
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4紫外探測器,包括依次復合而成的襯底、ZnGa
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4薄膜以及金屬叉指電極;所述ZnGa
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4薄膜以有機鋅化合物作為鋅源,有機鎵化合物作為鎵源,以高純氧氣為氧源,利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底表面沉積得到。本發(fā)明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnGa
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4薄膜,通過增加氧氣流量,增加氧分壓,減少氧缺陷,使制備得到的ZnGa
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4薄膜層具有結晶質量高,不出現(xiàn)分相,吸收截止邊陡峭等特點,進而使包含ZnGa
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4薄膜層的紫外探測器具有較低的暗電流,較高的響應度。
聲明:
“鋅鎵氧紫外探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)