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ZnMgO紫外探測器

1047 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:27:47

本發(fā)明提供了一種ZnMgO紫外探測器，包括：ZnMgO薄膜層；所述ZnMgO薄膜層的晶體結構為立方相；所述ZnMgO薄膜層按照以下方法制備：以有機鋅化合物作為鋅源，有機鎂化合物作為鎂源，在通入氧氣的金屬有機化合物化學氣相沉積設備中生長ZnMgO薄膜層。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnMgO薄膜，其氣流與襯底平行，且生長溫度較低，使制備得到的ZnMgO薄膜層具有結晶質量高，不出現(xiàn)分相，吸收截至邊陡峭等特點，進而使包含ZnMgO薄膜層的紫外探測器具有較好的光效應能力，無需調解ZnMgO薄膜層的光吸收截止邊即可調節(jié)器件的光響應截止邊，而且制備工藝簡單，反應過程容易控制。

聲明：

“ZnMgO紫外探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)