本發(fā)明涉及一種微條氣體室探測器復合基板的制造方法,它是采用射頻等離子體輔助化學氣相沉積法由D263玻璃上沉積類金剛石膜而制成。對光學玻璃D263預處理,放入高真空反應(yīng)室中沉積,然后在氮氣氣氛爐中退火處理而制得復合基板。本發(fā)明通過施加偏壓、增加磁場和退火處理來獲得高質(zhì)量類金剛石膜/D263玻璃復合基板,可克服薄膜與襯底應(yīng)力大、結(jié)合力差等問題,使探測器電荷積累效應(yīng)小和基板穩(wěn)定性好。本發(fā)明制作工藝簡單、制作周期快、成本低廉和實用性強。
聲明:
“微條氣體室探測器復合基板的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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