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制備太陽(yáng)盲紫外探測(cè)器的方法

687   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:27:46
本發(fā)明涉及紫外探測(cè)器的制備方法,特別是一種制備太陽(yáng)盲紫外探測(cè)器的方法,采用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法在藍(lán)寶石襯底上制備氧鋅鎂膜層,在該氧鋅鎂膜層上再蒸鍍Au膜層,用濕法刻蝕Au膜層制備出叉指形電極,所述的氧鋅鎂膜層是在以下工藝條件下獲得的具有單一立方相的、其吸收邊從220nm到260nm的MgZnO薄膜:生長(zhǎng)溫度為300℃~500℃,生長(zhǎng)室真空度為2×104Pa,載氣為99.9999%高純氮?dú)?,以二茂鎂作為鎂源,二乙基鋅作為鋅源,通過(guò)流量控制使生長(zhǎng)室中的Zn、Mg摩爾濃度比為Zn/Mg=0.4~1,氧氣壓力為2.5×105Pa、流量為550ml/min。本發(fā)明方法所獲得的立方相MgZnO合金薄膜,不出現(xiàn)分相,具有很好的重復(fù)性;其紫外/可見(jiàn)抑制比大于3個(gè)量級(jí),光響應(yīng)截止邊在230-280nm連續(xù)可調(diào)。
聲明:
“制備太陽(yáng)盲紫外探測(cè)器的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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