本發(fā)明提供了氟化
石墨烯的一種新用途,即利用氟化石墨烯作為光電敏感材料在制作光電探測(cè)器件及柔性光電探測(cè)器件中的應(yīng)用。該器件可探測(cè)波長(zhǎng)小于415nm的光。本發(fā)明首次利用氟化石墨烯作為光電敏感材料制作光電探測(cè)器件,采用柔性襯底可實(shí)現(xiàn)柔性的光電探測(cè)器件,相比有機(jī)半導(dǎo)體柔性光電探測(cè)器件,具有優(yōu)良高頻性能和低功耗的優(yōu)勢(shì)。而且氟化石墨烯的電阻可達(dá)1TΩ以上,利用氟化石墨烯制作的光電探測(cè)器具有非常低的暗電流噪聲。通過(guò)化學(xué)氣相沉積方法能夠制備出大面積的石墨烯薄膜(對(duì)角線長(zhǎng)度可達(dá)30英寸),這是目前其它無(wú)機(jī)寬帶半導(dǎo)體薄膜不能達(dá)到的,因此可制作基于氟化石墨烯的超大規(guī)模光電探測(cè)陣列。
聲明:
“氟化石墨烯在制備光電探測(cè)器件中的應(yīng)用” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)