亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 測(cè)量光子晶體孔洞側(cè)壁垂直度的方法

測(cè)量光子晶體孔洞側(cè)壁垂直度的方法

705   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:58
本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量光子晶體孔洞側(cè)壁垂直度的方法,包括:在半絕緣砷化鎵襯底上,外延生長(zhǎng)一定厚度的AlGaAs犧牲層;在AlGaAs犧牲層上外延生長(zhǎng)一定厚度的砷化鎵;在砷化鎵層上外延生長(zhǎng)一定密度InAs量子點(diǎn);外延生長(zhǎng)一定厚度的砷化鎵,將InAs量子點(diǎn)埋住;在砷化鎵上采用等離子體化學(xué)氣相淀積法(PECVD)鍍上一層SiO2薄膜;在SiO2薄膜上懸涂一層電子束膠;采用電子束曝光法在電子束膠上制作光子晶體圖形;采用反應(yīng)離子刻蝕方法將電子束膠上的光子晶體圖形轉(zhuǎn)移至SiO2上,并去膠;采用掃描電鏡(SEM)對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試,觀測(cè)并計(jì)算光子晶體孔洞的垂直度。利用本發(fā)明,不用觀察光子晶體孔洞截面,只測(cè)試光子晶體表面,便可測(cè)試出光子晶體孔洞側(cè)壁垂直度。
聲明:
“測(cè)量光子晶體孔洞側(cè)壁垂直度的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門(mén)有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門(mén)技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢(xún)電話:
010-88793500-807
專(zhuān)利人/作者信息登記