使用機(jī)器學(xué)習(xí)模型預(yù)測(cè)熱蝕刻反應(yīng)中的蝕刻。使用量子力學(xué)模擬來識(shí)別給定熱蝕刻反應(yīng)的一或多個(gè)反應(yīng)路徑中的蝕刻工藝的化學(xué)特性和相關(guān)能量。指示蝕刻特性的標(biāo)簽可與給定熱蝕刻反應(yīng)的化學(xué)特性和相關(guān)能量相關(guān)聯(lián)。機(jī)器學(xué)習(xí)模型可使用化學(xué)特性和相關(guān)能量作為自變量以及使用標(biāo)簽作為不同類型的許多不同蝕刻反應(yīng)的因變量來進(jìn)行訓(xùn)練。當(dāng)在機(jī)器學(xué)習(xí)模型中提供新的熱蝕刻反應(yīng)的化學(xué)特性和相關(guān)能量作為輸入時(shí),機(jī)器學(xué)習(xí)模型可準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)新的熱蝕刻反應(yīng)的蝕刻特性作為輸出。
聲明:
“預(yù)測(cè)在熱蝕刻與原子層蝕刻中的蝕刻特性” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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