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用于監(jiān)測制造過程的方法

719 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:25:55

通過圖案化步驟、物理處理步驟和化學處理步驟的組合，在襯底上形成多層產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。檢查設備照射多個目標結(jié)構(gòu)并捕獲表示由每個目標結(jié)構(gòu)散射的輻射的角度分布的光瞳圖像(802)。目標結(jié)構(gòu)具有相同的設計，但是被形成在不同襯底上和/或在襯底上的不同位置處?；趫D像的比較(810)，檢查設備推斷在所述不同位置之間的過程引起的堆疊變化的存在。在一個應用中，檢查設備基于暗場圖像(840)并結(jié)合先前確定的校準信息(842a，842b)分開測量制造過程的重疊性能(OV)。取決于從光瞳圖像推斷的堆疊變化，針對每個目標調(diào)整校準。

聲明：

“用于監(jiān)測制造過程的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)