本發(fā)明屬于光學(xué)零件缺陷層檢測技術(shù),具體涉及一種玻璃孔表面缺陷層深度測量方法。所述玻璃孔表面缺陷層深度測量方法包括具有孔結(jié)構(gòu)的試件制備、孔表面的微量腐蝕、缺陷層的精密檢測,所述具有孔結(jié)構(gòu)的試件設(shè)置兩塊帶有角度的楔形零件,所述孔表面微量腐蝕采用HF腐蝕,所述缺陷層的精密檢測應(yīng)用KEYENCE激光共聚焦顯微鏡在1500X下進行觀測。本發(fā)明一種玻璃孔表面缺陷層深度測量方法應(yīng)用金剛石鉆頭在玻璃中打孔通過光膠面時光膠面與孔口交接處無二次缺陷的原理,通過光膠面孔口的微量化學(xué)腐蝕將孔表面損傷層顯現(xiàn)出來,然后通過KEYENCE激光共聚焦顯微鏡觀測將損傷層深度測量出來。
聲明:
“玻璃孔表面缺陷層深度測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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