本發(fā)明提供了一種研磨液供應(yīng)系統(tǒng)，用于供應(yīng)測(cè)試用的研磨液，包括儲(chǔ)液裝置、出液管道和開(kāi)關(guān)閥，所述儲(chǔ)液裝置用于存儲(chǔ)第一研磨液，所述出液管道的一端與所述儲(chǔ)液裝置相連，出液管道的另一端設(shè)有出液口，所述一端高于所述另一端，所述開(kāi)關(guān)閥設(shè)置于所述出液管道上，所述開(kāi)關(guān)閥開(kāi)啟或關(guān)閉以用于控制所述出液管道的通斷。本發(fā)明的研磨液供應(yīng)系統(tǒng)可以花費(fèi)較小的代價(jià)，高效地完成第一研磨液的測(cè)試，避免第一研磨液因共用化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨液輸送管而造成的研磨液混淆，防止第一研磨液的測(cè)試結(jié)果出現(xiàn)偏差。研磨液供應(yīng)系統(tǒng)還能通過(guò)所述開(kāi)關(guān)閥控制所述出液管道內(nèi)的第一研磨液的流量。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種研磨液測(cè)試裝置及研磨液測(cè)試方法。