本發(fā)明提供了芯片基板及其制作工藝、基因測(cè)序芯片及基因測(cè)序方法。所述芯片基板包括：基板；形成于所述基板上的陣列下板電極；圖案化形成的絕緣層，所述絕緣層覆蓋相鄰兩下板電極之間的間隙，并部分覆蓋所述相鄰兩下板電極；形成于所述下板電極上及所述絕緣層之間的電容介電層；圖案化形成的陣列上板電極及陣列測(cè)試點(diǎn)，所述上板電極部分覆蓋所述電容介電層，所述測(cè)試點(diǎn)通過(guò)引線(xiàn)貫穿所述絕緣層的引線(xiàn)孔與所述下板電極連接；磁珠，所述磁珠設(shè)置于所述上板電極未覆蓋所述電容介電層的區(qū)域并與所述電容介電層接觸，用于接收含有DNA的樣本。本發(fā)明提供的芯片基板將測(cè)序過(guò)程中的化學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，無(wú)需對(duì)各種堿基進(jìn)行如熒光探針等特殊標(biāo)記，試劑成本低；芯片結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝復(fù)雜程度較低，有利于基因測(cè)序在醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的普及和推廣。