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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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微測量電極的制作方法和熱電勢的測量方法及相關裝置

951 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:23:25

本發(fā)明實施例公開了一種微測量電極的制作方法和微尺度樣品熱電勢的測量方法。其中，所述的微測量電極的制作方法包括：制作鏤空掩模板，所述鏤空掩模板包括至少一個加熱器及加熱器接線端的鏤空圖形，和第一電阻溫度計和第二溫度計的鏤空圖形，所述溫度計的鏤空圖形包括測溫金屬線和接線端的鏤空圖形；將承載有微尺度樣品的襯底與所述鏤空掩模板對準固定，形成鏤空掩模板-襯底復合體；將所述鏤空掩模板-襯底復合體進行金屬沉積；移除鏤空掩模板。采用本發(fā)明實施例所提供的技術方案，能夠避免可能出現(xiàn)的由于采用光刻-剝離工藝所產生化學污染使得樣品的熱電傳輸性質發(fā)生變化的情況，進而提高測量微尺度樣品熱電傳輸性質的可靠性。

聲明：

“微測量電極的制作方法和熱電勢的測量方法及相關裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)