一種用于六氟化硫氣體分解過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的徑向共振光聲池;主要包括共振腔、前端緩沖腔、后端緩沖腔、入射窗片、出射窗片、進(jìn)氣口、出氣口、高靈敏度傳聲器、高壓電極,以及接地電極。入射窗片和出射窗片分別在前端和后端緩沖腔上;兩個(gè)緩沖腔分別在共振腔的兩側(cè),依共振腔幾何中心對(duì)稱(chēng)。兩個(gè)緩沖腔的側(cè)面分別有進(jìn)氣口和出氣口。共振腔的軸向中心一端固定有高靈敏度傳聲器;共振腔幾何中心的徑向端有高壓電極和接地電極,可以產(chǎn)生放電使SF6氣體發(fā)生分解。本發(fā)明可實(shí)時(shí)定量檢測(cè)HF、SF5、SF4、SF2、SOF4、SO2F2、SOF2、SO2、CF4、CO2、H2O等多種氣體,而且特別適于化學(xué)性質(zhì)不穩(wěn)定的SF6分解物實(shí)時(shí)定量測(cè)量分析。
聲明:
“用于六氟化硫氣體分解過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的徑向共振光聲池” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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