一種在線檢測系統(tǒng)(200)和方法,用于實時檢測流動氣流中的雜質(zhì)濃度。一個特別的方面,系統(tǒng)可包括一個在線監(jiān)測系統(tǒng),用來確定流動氣流中的雜質(zhì)類標(biāo)定的濃度,在低于預(yù)定的濃度值的低濃度范圍內(nèi),以及在高于預(yù)定的濃度值的高濃度范圍內(nèi)。一個傳感器連接裝置(214)使凈化器(208)與感測裝置(212)互連,用以監(jiān)測氣流中的雜質(zhì)水平。一個開關(guān)閥(230)插入配置在凈化器(208)和傳感器(212)之間的流動環(huán)路中,用來有選擇地控制來自氣流的已凈化的和未凈化的氣體流向雜質(zhì)檢測裝置。系統(tǒng)可在水為重要雜質(zhì)情況下采用濕度計傳感器,或者采用敷有合適的雜質(zhì)親合敷層的超聲波(SAW)器件。系統(tǒng)在監(jiān)測半導(dǎo)體器件制造中的汽相處理,例如化學(xué)蒸法鍍敷中所用的氣流中的低雜質(zhì)水平(例如大約0.1ppm至大約100ppm)方面特別有效。
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“差動式氣體感測-在線監(jiān)測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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