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制造具有兩個或更多個終點檢測窗口的拋光墊的方法

696 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:20:08

可以通過以下制成一種具有兩個或更多個終點檢測窗口的化學機械拋光墊：提供結構，該結構包括拋光層，該拋光層具有限定水平方向的頂表面、底表面、以及從該頂表面延伸到該底表面的兩個或更多個孔口，其中，該兩個或更多個孔口中的每個孔口具有位于該孔口中的透明窗口，其中，這些窗口中的每個窗口具有從該拋光層的底表面向外延伸的部分，其中，該兩個或更多個孔口彼此相距選定的距離；在該底表面和這些窗口的從該底表面向外延伸的部分上施加子墊材料；并且通過移除該子墊材料的一部分，露出這些窗口，并且其中，該兩個或更多個孔口彼此保持該選定的距離。

聲明：

“制造具有兩個或更多個終點檢測窗口的拋光墊的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)