本發(fā)明公開了一種用于生物分子檢測的
芯片單元的制備方法,包括:襯底上淀積電熱絕緣材料、第二側(cè)墻材料、基底材料;光刻和干法刻蝕法制作第一側(cè)墻基底;淀積第一側(cè)墻材料,用濕法腐蝕的方法去除第一側(cè)墻的基底;以第一側(cè)墻為掩膜干法刻蝕第二側(cè)墻材料形成堆疊側(cè)墻1;制作金屬層;用薄膜淀積工藝制備絕緣材料層;用化學(xué)機(jī)械拋光制作納流體通道,保留剩余的第一側(cè)墻作為通道封頂層,然后去除光刻膠,最后再在通道兩側(cè)的金屬上方開孔引出電極2即可形成適于生物分子檢測的芯片單元。本發(fā)明能突破光刻分辨率限制及提高芯片單元與CMOS工藝的兼容性,并提高適于生物分子檢測的芯片單元的制備效率。
聲明:
“用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)