本申請實施例公開了一種光學(xué)檢測系統(tǒng)及方法,通過激發(fā)光模塊用于產(chǎn)生激發(fā)光束并將所述激發(fā)光束導(dǎo)向待檢測樣品;光場重構(gòu)模塊用于收集散射光,并根據(jù)目標(biāo)屬性進行散射光重構(gòu),將重構(gòu)后的光場導(dǎo)向光信號檢測模塊,所述目標(biāo)屬性包括目標(biāo)偏振態(tài)、目標(biāo)相位和目標(biāo)振幅;所述光信號探測模塊,用于接收所述光場重構(gòu)模塊發(fā)送的各檢測頻率或子頻段的光信號并轉(zhuǎn)換成電信號;信號收集處理模塊,用于收集所述光信號探測模塊發(fā)送的電信號,根據(jù)所述電信號的屬性確定所述待檢測樣品表面的物理成分信息和/或化學(xué)成分信息。通過對收集的波長、相位、振幅、偏折方向的光學(xué)信號進一步處理,可以獲得待檢測樣品表層物理成分、微觀形貌等物理與化學(xué)成分信息。
聲明:
“光學(xué)檢測系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)