本實(shí)用新型公開了一種電熱控溫式的化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái),包括拋光盤和旋轉(zhuǎn)軸,還包括溫度控制器和加熱器,拋光盤包括面板、底座和中空的連接座,底座上表面開設(shè)有凹槽,凹槽內(nèi)設(shè)置有陶瓷盤,陶瓷盤中部開設(shè)有連接避位孔,陶瓷盤上開設(shè)有盤旋槽,盤旋槽內(nèi)設(shè)置有加熱絲;連接座固定連接在旋轉(zhuǎn)軸的頂部;凹槽內(nèi)還設(shè)置有熱電偶和連接線,旋轉(zhuǎn)軸的外側(cè)壁上絕緣設(shè)置有兩組金屬圈,旋轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)兩組金屬圈的位置開設(shè)有連接孔,熱電偶和連接線與兩組金屬圈連接。本實(shí)用新型技術(shù)方案簡(jiǎn)單實(shí)用,旨在采用溫度控制器通過熱電偶實(shí)時(shí)測(cè)量并控制加熱器以調(diào)節(jié)拋光盤的表面溫度,從而將拋光盤恒定在所需溫度下,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制拋光溫度的目的。
聲明:
“電熱控溫式的化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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