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全尺寸SiC復(fù)合材料包殼管化學(xué)氣相沉積的裝置

807   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:02:28
本發(fā)明屬于核包殼材料制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種全尺寸SiC復(fù)合材料包殼管化學(xué)氣相沉積的裝置。旋轉(zhuǎn)電機(jī)放置于爐蓋上方,下方與吊掛架相連,保溫上蓋、外保溫層和石墨底座共同組成保溫室,石墨底座放置于爐底上方,加熱體位于外保溫層和內(nèi)桶之間,內(nèi)桶放置于加熱體和全尺寸碳化硅包殼管之間,吊掛架穿過(guò)吸氣管下端與全尺寸碳化硅包殼管連接,導(dǎo)氣管位于內(nèi)桶上方,進(jìn)端通過(guò)保溫上蓋通入沉積室,出端與外部真空管道相連,吸氣管進(jìn)端位于全尺寸碳化硅包殼管上方,出端與外部真空管道相連,測(cè)溫?zé)崤挤胖糜诿慷渭訜狍w內(nèi)和內(nèi)桶之間,每個(gè)測(cè)溫?zé)崤季c測(cè)溫控溫表相連,進(jìn)氣管位于沉積裝置的下方和側(cè)方。本發(fā)明填補(bǔ)了全尺寸SiC復(fù)合材料包殼管制備技術(shù)空白。
聲明:
“全尺寸SiC復(fù)合材料包殼管化學(xué)氣相沉積的裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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