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采用定向晶??刂频碾娀瘜W(xué)機(jī)械拋光工件的預(yù)處理方法

766   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:50
采用定向晶粒控制的電化學(xué)機(jī)械拋光工件的預(yù)處理方法。本發(fā)明涉及金屬超精密加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及電化學(xué)機(jī)械拋光前的工件定向晶??刂祁A(yù)處理方法。本發(fā)明的預(yù)處理方法包括:a、在不同晶粒尺寸的金屬工件上進(jìn)行電化學(xué)機(jī)械拋光實驗,獲得晶粒尺寸與材料去除率的關(guān)系;b、測量待加工金屬毛坯工件的初始面型誤差;c、基于a、b兩個步驟測量的待加工金屬毛坯面型誤差特征、晶粒尺寸與材料去除率的關(guān)系和最終面型要求,設(shè)計電化學(xué)機(jī)械拋光材料去除率及晶粒尺寸分布;d、采用塑性成形及熱處理的方法獲得定向控制晶粒尺寸分布的工件。本發(fā)明的技術(shù)方案解決了現(xiàn)有技術(shù)中,傳統(tǒng)ECMP加工方式因邊緣效應(yīng)而使得工件產(chǎn)生“塌邊”現(xiàn)象等面型誤差的問題。
聲明:
“采用定向晶??刂频碾娀瘜W(xué)機(jī)械拋光工件的預(yù)處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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