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化學(xué)品分配系統(tǒng)

774   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:49
一種化學(xué)品分配系統(tǒng)能夠通過(guò)使用獨(dú)立的化學(xué)品供應(yīng)管線同時(shí)供應(yīng)用于生產(chǎn)及測(cè)試的半導(dǎo)體處理化學(xué)品,這會(huì)減少相關(guān)聯(lián)半導(dǎo)體工藝的生產(chǎn)停工時(shí)間,增加半導(dǎo)體工藝的生產(chǎn)量及能力,和/或類似情況。此外,同時(shí)供應(yīng)用于生產(chǎn)及測(cè)試的半導(dǎo)體處理化學(xué)品的能力允許在對(duì)生產(chǎn)的沖擊最小的情況下增加要測(cè)試的半導(dǎo)體處理化學(xué)品批次的數(shù)量,這會(huì)增加對(duì)半導(dǎo)體處理化學(xué)品的品質(zhì)控制。此外,獨(dú)立的化學(xué)品供應(yīng)管線可用于在通過(guò)過(guò)濾回路獨(dú)立地過(guò)濾直接來(lái)自存儲(chǔ)筒的半導(dǎo)體處理化學(xué)品的同時(shí)為生產(chǎn)供應(yīng)半導(dǎo)體處理化學(xué)品。
聲明:
“化學(xué)品分配系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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