一種化學(xué)品分配系統(tǒng)能夠通過(guò)使用獨(dú)立的化學(xué)品供應(yīng)管線同時(shí)供應(yīng)用于生產(chǎn)及測(cè)試的半導(dǎo)體處理化學(xué)品,這會(huì)減少相關(guān)聯(lián)半導(dǎo)體工藝的生產(chǎn)停工時(shí)間,增加半導(dǎo)體工藝的生產(chǎn)量及能力,和/或類似情況。此外,同時(shí)供應(yīng)用于生產(chǎn)及測(cè)試的半導(dǎo)體處理化學(xué)品的能力允許在對(duì)生產(chǎn)的沖擊最小的情況下增加要測(cè)試的半導(dǎo)體處理化學(xué)品批次的數(shù)量,這會(huì)增加對(duì)半導(dǎo)體處理化學(xué)品的品質(zhì)控制。此外,獨(dú)立的化學(xué)品供應(yīng)管線可用于在通過(guò)過(guò)濾回路獨(dú)立地過(guò)濾直接來(lái)自存儲(chǔ)筒的半導(dǎo)體處理化學(xué)品的同時(shí)為生產(chǎn)供應(yīng)半導(dǎo)體處理化學(xué)品。
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