本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相淀積反應(yīng)腔中漏率的監(jiān)控方法,將自動(dòng)測(cè)漏步驟加入到化學(xué)氣相淀積跑片過程的氫氟酸清洗步驟中。采用該方法進(jìn)行化學(xué)氣相淀積反應(yīng)腔中漏率的監(jiān)測(cè),可以做到實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),減少在機(jī)臺(tái)異常情況下制造產(chǎn)品的狀況發(fā)生,一旦有問題可以報(bào)警并及時(shí)解決;并且將漏率監(jiān)測(cè)植入到正常的產(chǎn)品制造流程之中,對(duì)機(jī)臺(tái)的可服務(wù)時(shí)間沒有影響;同時(shí),采用此方法,在機(jī)臺(tái)做完漏率監(jiān)測(cè)步驟之后可以直接執(zhí)行后續(xù)的開啟等離子體等步驟,可以避免手動(dòng)測(cè)漏,機(jī)臺(tái)反應(yīng)腔降溫而死機(jī)。
聲明:
“化學(xué)氣相淀積反應(yīng)腔中漏率的監(jiān)控方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)