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> 電阻率測試儀
技術(shù)規(guī)格
測量范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
測量精度: +/- 1%;
重復度: 小于 0.2%;
樣品圖中無限量的測量點位,自定義測量Recipe,可線性、矩形、
較為坐標以及自定義等。
支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。
標題:電阻率測試儀