本發(fā)明提供了一種可提高拋光性能的化學(xué)機(jī)械拋光方法,該方法包括第一階段拋光、第二階段拋光和第三階段拋光,該方法包括以下步驟:步驟1:統(tǒng)計(jì)得出第一階段拋光、第二階段拋光和第三階段拋光的總時(shí)間;步驟2:將第一階段拋光時(shí)間設(shè)定為總時(shí)間的60?70%,將第二階段拋光時(shí)間設(shè)定為總時(shí)間的20?30%,并且按照設(shè)定時(shí)間進(jìn)行拋光;步驟3:進(jìn)行第三階段拋光并檢測(cè)拋光終點(diǎn),在檢測(cè)到拋光終點(diǎn)時(shí)停止拋光。本發(fā)明所述的可提高拋光性能的化學(xué)機(jī)械拋光方法,可大幅度提高拋光性能。
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“可提高拋光性能的化學(xué)機(jī)械拋光方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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