本實(shí)用新型公開一種化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)臺,用于在線檢測拋光墊下方氣泡,該化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)臺包括:基座,用于粘貼一拋光墊;調(diào)節(jié)盤,用于研磨拋光墊,所述調(diào)節(jié)盤耦合一墊高度感應(yīng)裝置,以監(jiān)測調(diào)節(jié)盤的高度變化,當(dāng)調(diào)節(jié)盤的高度變化超過一預(yù)定值,將拋光墊從基座上剝離,再另粘貼一拋光墊。其中在線偵測拋光墊下方氣泡的方法是:將拋光墊粘貼在該基座上,進(jìn)行拋光墊磨合,利用調(diào)節(jié)盤研磨拋光墊,在拋光墊磨合過程中,以墊高度感應(yīng)裝置監(jiān)測調(diào)節(jié)盤的高度變化,當(dāng)調(diào)節(jié)盤的高度變化超過一預(yù)定值,將拋光墊從基座上剝離,再另粘貼一拋光墊,如此達(dá)到在線自動檢測拋光墊下方氣泡,以提高效率及可靠性。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)