技術(shù)問題:提供一種靈敏度高的等離子體處理檢測用組合物及等離子體處理檢測用指示器。技術(shù)手段:等離子體處理檢測用組合物含有第1色素及變色促進(jìn)劑,該第1色素選自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫噸組成的組中的1種以上,該變色促進(jìn)劑用于促進(jìn)該第1色素在等離子體處理氣氛下變色;所述等離子體處理檢測用組合物的特征為,所述變色促進(jìn)劑含有1種以上的、由包含2個苯環(huán)以單鍵或連接基連接的化學(xué)結(jié)構(gòu)的化學(xué)結(jié)構(gòu)式所表示的化合物,所述連接基通過串聯(lián)連接的2個或3個單鍵連接2個苯環(huán)。
聲明:
“等離子體處理檢測用組合物及等離子體處理檢測用指示器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)