本發(fā)明公開(kāi)了一種防止鎢栓塞腐蝕的半導(dǎo)體特性分析方法,屬于
半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括:在晶圓上截取待分析樣品,并調(diào)配預(yù)設(shè)濃度的研磨液;去除待分析樣品的鈍化層及金屬疊層至呈現(xiàn)第一金屬層;使用調(diào)配的預(yù)設(shè)濃度的研磨液配合拋光盤(pán)預(yù)定的轉(zhuǎn)速去除第一金屬層至呈現(xiàn)鎢栓塞層;對(duì)呈現(xiàn)鎢栓塞層的樣品進(jìn)行特性分析。本發(fā)明中,通過(guò)調(diào)配預(yù)設(shè)濃度且安全環(huán)保的研磨液,并配合拋光盤(pán)一定的轉(zhuǎn)速來(lái)去除待分析樣品的第一金屬層,有效地抑制了鎢栓塞的
電化學(xué)反應(yīng),進(jìn)而確保了鎢栓塞的完好,使得在鎢栓塞層能夠進(jìn)行完整的器件標(biāo)定,避免了因?yàn)闃悠返奶幚韱?wèn)題而造成特性分析的誤判。
聲明:
“防止鎢栓塞腐蝕的半導(dǎo)體特性分析方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)