一種激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜原位統(tǒng)計(jì)分布分析系統(tǒng),屬于材料分析表征技術(shù)領(lǐng)域。包括激光燒蝕進(jìn)樣系統(tǒng)、ICP離子源系統(tǒng)、接口系統(tǒng)、離子傳輸系統(tǒng)、質(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)、連續(xù)激發(fā)同步掃描的樣品移動(dòng)/定位系統(tǒng)和對(duì)采集到的質(zhì)譜信號(hào)進(jìn)行數(shù)學(xué)解析的信號(hào)處理系統(tǒng)。基于樣品的連續(xù)激發(fā)同步掃描移動(dòng)/定位和激光燒蝕ICP-MS的、可以實(shí)現(xiàn)金屬或非金屬材料非平整表面大尺度范圍內(nèi)化學(xué)成分及其狀態(tài)的原位統(tǒng)計(jì)分布分析。優(yōu)點(diǎn)在于,既可以用于金屬樣品,又適用于非金屬樣品;可分析低至0.1μg/g元素的含量和分布;比金屬原位分析儀的靈敏度提高3個(gè)數(shù)量級(jí);既適用于表面規(guī)則平整的樣品,也適用于不規(guī)則或異型面樣品。