本發(fā)明提供一種化學(xué)氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監(jiān)測方法,通過在化學(xué)氣相沉積工藝腔室的四周和底部的內(nèi)壁上分別內(nèi)嵌一個石英晶震片,將石英晶震片的電極鍍膜層與化學(xué)氣相沉積工藝腔室的內(nèi)部連通;頻率檢測器用以檢測石英晶震片的頻率,并將頻率檢測器所測得的頻率上傳到控制器,所述控制器根據(jù)頻率監(jiān)測器所測得的頻率變化實時監(jiān)測化學(xué)氣相沉積工藝腔室的內(nèi)壁堆積膜層的厚度的變化以判斷清洗終點。利用本發(fā)明對清洗終點進(jìn)行監(jiān)測,所得結(jié)果準(zhǔn)確無誤,保證了化學(xué)氣相沉積工藝腔室的清潔度和產(chǎn)品良率。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監(jiān)測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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