本發(fā)明公開一種利用拉曼光譜測量非化學(xué)計(jì)量比氧化膜微區(qū)應(yīng)力的方法，包括：(1)在無應(yīng)力條件下，利用拉曼光譜對不同化學(xué)計(jì)量比粉體材料進(jìn)行測量，建立特征拉曼峰強(qiáng)比R與晶格振動(dòng)峰位ω0的關(guān)系曲線；(2)分析待測薄膜的拉曼光譜數(shù)據(jù)，得到特征拉曼峰強(qiáng)比R′和拉曼晶格振動(dòng)峰位置ωp，然后根據(jù)R′的值利用關(guān)系曲線得到對應(yīng)的ω’0；(3)對粉體材料進(jìn)行高壓拉曼實(shí)驗(yàn)，得到晶格振動(dòng)峰位與應(yīng)力之間的關(guān)系k’1；(4)代入公式σ＝k’1(ωp-ω’0)，得到待測薄膜的應(yīng)力值。本發(fā)明可使拉曼光譜法推廣到測量非化學(xué)計(jì)量比氧化膜的內(nèi)應(yīng)力，實(shí)現(xiàn)這類薄膜原位、無損的微區(qū)內(nèi)應(yīng)力測量，準(zhǔn)確度較現(xiàn)有的拉曼光譜測量應(yīng)力方法有大幅的提高。