金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備中實(shí)時(shí)測(cè)量薄膜溫度的方法及測(cè)量裝置，在氣相沉積工藝過(guò)程中，監(jiān)測(cè)外延片的熱輻射通過(guò)噴淋孔的輻射光，通過(guò)對(duì)輻射光進(jìn)行濾波分離來(lái)檢測(cè)兩個(gè)或兩個(gè)以上不同波長(zhǎng)的薄膜輻射光能量，本發(fā)明的測(cè)量裝置包括分光機(jī)構(gòu)、光學(xué)探測(cè)器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，本發(fā)明簡(jiǎn)化掉現(xiàn)有在線測(cè)量采用單波長(zhǎng)光學(xué)測(cè)溫技術(shù)中首先測(cè)量薄膜表面發(fā)射率的步驟，消除了接收探測(cè)器立體接收角的變化和探測(cè)器與被測(cè)物距離變化所帶來(lái)的誤差，極大地提高了MOCVD在線溫度測(cè)量?jī)x器的使用范圍和測(cè)量精度，通過(guò)本發(fā)明方法進(jìn)行處理獲得更準(zhǔn)確的薄膜溫度。