本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置,尤其涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨頭限位環(huán)的測(cè)量裝置。本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械研磨頭限位環(huán)的使用壽命自動(dòng)測(cè)量裝置,所述限位環(huán)上布設(shè)有若干溝槽,所述自動(dòng)測(cè)量裝置包括控制裝置和用于檢測(cè)所述溝槽深度的檢測(cè)裝置,所述檢測(cè)裝置和所述控制裝置連接,所述控制裝置接收并分析來(lái)自所述檢測(cè)裝置的溝槽深度信息。本使用新型通過(guò)測(cè)得的溝槽深度并利用溝槽深度和限位環(huán)的使用壽命的正比例關(guān)系可以測(cè)算出限位環(huán)的剩余使用壽命,不但自動(dòng)化程度高,避免了人為操作失誤,而且無(wú)需利用限位環(huán)的晶圓使用片數(shù)歷史記錄,就可以對(duì)所有的限位環(huán)的剩余使用壽命進(jìn)行測(cè)算。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨頭限位環(huán)的使用壽命自動(dòng)測(cè)量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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