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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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滑片檢測裝置和化學機械拋光系統(tǒng)

1159 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:45:13

本發(fā)明公開了一種滑片檢測裝置和化學機械拋光系統(tǒng)，所述滑片檢測裝置包括激光發(fā)射器、光纖接收器和控制器；所述激光發(fā)射器和光纖接收器設置于V形支架，所述V形支架朝向拋光墊設置，所述激光發(fā)射器朝向拋光墊發(fā)射激光，光纖接收器接收反射的激光并將其轉化為電信號；所述控制器根據(jù)光纖接收器的電信號判定是否有晶圓自承載頭滑出；所述激光發(fā)射器和光纖接收器相對于拋光墊傾斜設置，使得附著于其上的液滴滑落而不封堵激光發(fā)射和/或接收的路徑。

聲明：

“滑片檢測裝置和化學機械拋光系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)