本發(fā)明公開了一種改善化學(xué)機(jī)械研磨終點(diǎn)檢測及檢測前道工藝的方法,設(shè)定正確的檢知時(shí)間范圍,一旦檢知時(shí)間超過設(shè)定范圍,即時(shí)間小于設(shè)定的下限或大于等于設(shè)定的上限,機(jī)臺報(bào)警并停止研磨,進(jìn)行檢測處理。本發(fā)明能夠?qū)崟r(shí)檢測到產(chǎn)品的終點(diǎn),及時(shí)發(fā)現(xiàn)前道非正常工藝以及機(jī)臺終點(diǎn)檢測硬件(設(shè)備)異常的問題,減少異常產(chǎn)品的產(chǎn)生。本發(fā)明不僅可以適用于利用光學(xué)原理的終點(diǎn)檢測方法,還可以適用于溫度變化原理,電流強(qiáng)度變化原理的終點(diǎn)檢測方法。
聲明:
“改善化學(xué)機(jī)械研磨終點(diǎn)檢測及檢測前道工藝的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)