本實(shí)用新型涉及一種基于電容法測(cè)量氣膜間隙內(nèi)氣體密度的測(cè)試裝置，屬于精密設(shè)備性能檢測(cè)領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括隔振平臺(tái)、大理石支撐臺(tái)面、空氣靜壓軸承Ⅰ、空氣靜壓軸承Ⅱ、壓力傳感器、傳感器支架、微位移傳感器、支架、氣缸、節(jié)流閥、空氣靜壓軸承進(jìn)氣管、壓力調(diào)節(jié)閥、壓力表和空氣壓縮機(jī)。本實(shí)用新型裝置簡單，只需要額外添加微位移傳感器、電容測(cè)量儀以及微力傳感器；模型簡化，容易理解，數(shù)據(jù)處理量小，簡單方便；便于實(shí)現(xiàn)不同的氣膜厚度的調(diào)節(jié)，通過氣膜厚度變化對(duì)電容的影響，從而利用所測(cè)得的電容變化計(jì)算出氣膜間隙內(nèi)氣體密度，可通過多次測(cè)試將氣膜間隙內(nèi)氣體密度測(cè)量出來，可靠性高且易于實(shí)現(xiàn)；儀器應(yīng)用普遍，成本低。