本發(fā)明公開了一種自密封式真空檢測系統(tǒng)及抽真空檢漏方法,系統(tǒng)包括箱體和罩蓋,罩蓋底部設(shè)置有可上下移動的壓板,罩蓋頂部固定安裝有密封環(huán),罩蓋上設(shè)有避讓孔,該避讓孔內(nèi)設(shè)有柔性變形部件,柔性變形部件下端連接在壓板上,上端與密封環(huán)連接。方法包括步驟一:將待檢模塊裝至箱體的敞口處;步驟二:蓋上罩蓋,使壓板周向邊緣與待檢模塊接觸;步驟三:利用
真空泵對箱體和罩蓋抽真空,在壓差的作用下柔性變形部件伸長并帶動壓板向下擠壓待檢模塊,使待模塊與箱體之間密封;步驟四:向罩蓋內(nèi)充入氦氣至預(yù)設(shè)值;步驟五:利用檢漏儀測量是否有氦氣滲透至箱體內(nèi)。有益效果是:待檢模塊能夠在真空密封腔內(nèi)快速自動密封,并完成密封性能檢測。
聲明:
“自密封式真空檢測系統(tǒng)及抽真空檢漏方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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