本發(fā)明屬于材料性能檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種楊氏模量和泊松常數(shù)的超聲表面波雙向檢測(cè)方法,用于檢測(cè)由各向同性薄膜淀積在硅襯底上形成的分層薄膜材料,包括下列步驟:利用短脈沖激光器在分層薄膜材料樣片表面激發(fā)出寬頻帶超聲表面波;通過(guò)壓電探測(cè)器分別在樣片表面的Si[110]方向和Si[100]方向?qū)Ρ砻娌ㄐ盘?hào)進(jìn)行采集,得到超聲表面波在該方向上分層薄膜材料上傳播的頻散曲線(xiàn);設(shè)置多個(gè)楊氏模量和泊松常數(shù)計(jì)算出多條不同的理論色散曲線(xiàn),將實(shí)驗(yàn)測(cè)得的表面波實(shí)驗(yàn)色散曲線(xiàn)和這些理論色散曲線(xiàn)進(jìn)行擬合,可以得到與實(shí)驗(yàn)色散曲線(xiàn)最接近的理論色散曲線(xiàn),從而確定出薄膜材料的楊氏模量和泊松常數(shù)。本發(fā)明提出的方法具有快速,準(zhǔn)確,無(wú)損檢測(cè)等特點(diǎn)。
聲明:
“楊氏模量和泊松常數(shù)的超聲表面波雙向檢測(cè)方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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