本申請涉及一種用于高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測裝置,包括真空室、
真空泵、真空計(jì)和電離規(guī),所述真空室的內(nèi)腔通過連接管與所述電離規(guī)連接,所述電離規(guī)靠近所述真空室的一端設(shè)有連接塊,所述連接管遠(yuǎn)離所述真空室的一端設(shè)有供所述連接塊插入的連接槽,所述連接槽的槽壁上設(shè)有固定槽,所述固定槽內(nèi)設(shè)有固定塊,所述固定塊可以在所述固定槽內(nèi)滑移,所述連接管上設(shè)有驅(qū)動組件,所述驅(qū)動組件用于驅(qū)動所述固定塊與所述連接塊抵接。本申請具有方便安裝電離規(guī)的效果。
聲明:
“一種用于高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)