本發(fā)明涉及一種基于機(jī)器視覺的鈣鈦礦薄膜質(zhì)量檢測(cè)裝置，包括帶燈罩的無影光源、工業(yè)相機(jī)、集成支架以及控制中心，燈罩和工業(yè)相機(jī)分別可調(diào)地固定在集成支架上，工業(yè)相機(jī)與控制中心數(shù)據(jù)連接，在控制中心內(nèi)設(shè)置了用于處理工業(yè)相機(jī)拍攝圖像的圖像處理單元；在燈罩的底部設(shè)置載樣板，含有鈣鈦礦薄膜的待檢測(cè)的樣件正面朝上地放置在載樣板上，工業(yè)相機(jī)透過燈罩的頂部的觀察窗口對(duì)樣件進(jìn)行拍攝?？刂浦行膶⒐I(yè)相機(jī)拍攝的圖像與已保存在控制中心數(shù)據(jù)庫中的標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行比對(duì)和判斷。本發(fā)明還公開使用該基于機(jī)器視覺的鈣鈦礦薄膜質(zhì)量檢測(cè)裝置的方法。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)鈣鈦礦薄膜快速、有效、無損的檢測(cè)和篩選，大大提高了檢測(cè)效率和檢測(cè)的準(zhǔn)確性。