本發(fā)明提供一種光學(xué)元件的偏振性能檢測(cè)方法和一種偏振性能檢測(cè)系統(tǒng)。利用光強(qiáng)?瓊斯矩陣模型分別計(jì)算光路系統(tǒng)在離線狀態(tài)下和在線狀態(tài)下的重構(gòu)光強(qiáng)相對(duì)于實(shí)測(cè)光強(qiáng)的變化，基于光強(qiáng)變化和相應(yīng)的重構(gòu)后瓊斯向量獲得Γ矩陣的修正量，在理想Γ矩陣的基礎(chǔ)上獲得更匹配光學(xué)系統(tǒng)真實(shí)偏振性能的修正Γ矩陣，實(shí)現(xiàn)對(duì)偏振性能的標(biāo)定，進(jìn)而利用修正后的Γ矩陣可以得到光學(xué)元件的瓊斯矩陣。根據(jù)修正后的Γ矩陣以及相應(yīng)的瓊斯矩陣可以檢測(cè)該光學(xué)元件樣品的偏振性能。通過(guò)聯(lián)合離線和在線實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)標(biāo)定偏振性能，使所得到的修正Γ矩陣逼近所應(yīng)用的光學(xué)系統(tǒng)的實(shí)際偏振性能的真實(shí)Γ矩陣，可以精確檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的偏振性能，進(jìn)而有利于控制偏振像差，提高成像質(zhì)量。