本發(fā)明公開了一種靜電卡盤性能檢測裝置及檢測方法,屬于靜電卡盤性能檢測領(lǐng)域。所述靜電卡盤性能檢測裝置包括真空腔室和測試氣路,真空腔室上連接有
真空泵,真空腔室內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)接盤,轉(zhuǎn)接盤的上方設(shè)置有靜電卡盤,靜電卡盤的上表面用于放置被吸附物,靜電卡盤與被吸附物之間存在吸附縫隙,靜電卡盤和轉(zhuǎn)接盤的中心處設(shè)置有與測試氣路相連通的氣孔;測試氣路上依次設(shè)置有背吹氣源、氣體質(zhì)量流量計(jì)和真空計(jì),背吹氣源與氣體質(zhì)量流量計(jì)之間設(shè)置有第一閥體,氣體質(zhì)量流量計(jì)與真空計(jì)之間設(shè)置有第二閥體。本發(fā)明既可以保證檢測環(huán)境與超薄材料的鍍膜工藝環(huán)境一致,又能使檢測時(shí)被吸附物在其中心受力,根據(jù)該方法判斷出的靜電卡盤吸附性能也較準(zhǔn)確。
聲明:
“靜電卡盤性能檢測裝置及檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)