本發(fā)明公開了一種
多晶硅太陽能電池酸腐制絨用光刻膠的去除方法,其步驟為:硅片刻蝕后的有機(jī)光刻膠掩膜通過燒結(jié)爐在高溫下將光刻膠掩膜燒掉,然后采用酸洗去除表面氧化層和殘余有機(jī)雜質(zhì)。本發(fā)明有機(jī)光刻膠掩膜的快速去除方法,是一種純物理的光刻膠去除方法,相對于目前常用的有機(jī)光刻膠去除方法,無有機(jī)溶劑和酸堿溶劑污染,無廢液排放,大大降低了化學(xué)溶劑的消耗以及后續(xù)污染處理,降低了生產(chǎn)過程中的危險(xiǎn)性,還大大降低了成本,提高了生產(chǎn)效率。
聲明:
“一種多晶硅太陽能電池酸腐制絨用光刻膠的去除方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)