本發(fā)明公開一種利用低溫等離子體射流處理VOCs的方法，包括以下步驟：對(duì)空氣和廢氣進(jìn)行過(guò)濾預(yù)處理；調(diào)整放電參數(shù)，在等離子體射流管下方產(chǎn)生等離子體羽；將預(yù)處理后的廢氣通入反應(yīng)區(qū)；在等離子體射流裝置的下游接收部分降解處理后的凈化氣體，通過(guò)檢測(cè)儀對(duì)氣體組份進(jìn)行監(jiān)測(cè)；合格的潔凈空氣直接排放，不合格的氣體重新處理等。本發(fā)明的處理方法采用低溫等離子體射流的方式，等離子體羽中存在長(zhǎng)時(shí)效性臭氧等物質(zhì)，同時(shí)還存在大量的高能電子和活性基團(tuán)，大大提高了反應(yīng)效率和去除率；廢氣不與等離子體放電電極接觸，可有效避免電極腐蝕問(wèn)題，無(wú)爆炸燃燒危險(xiǎn)，提高了設(shè)備的運(yùn)行壽命，安全可靠。等離子體有利于設(shè)備長(zhǎng)久使用，維修保養(yǎng)周期長(zhǎng)，安全性高。