一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置,包括合成爐和硅粉收集罐,合成爐通過金屬軟管與硅粉收集罐的接口連通,具體的說,所述合成爐的底部具有錐體結(jié)構(gòu),所述錐體結(jié)構(gòu)的兩端分別與氮?dú)膺M(jìn)口管線和正常氯化氫進(jìn)氣管線連通,在所述合成爐的錐體結(jié)構(gòu)上部側(cè)壁上設(shè)有硅粉泄放閥,硅粉泄放閥通過金屬軟管與硅粉收集罐側(cè)壁上的接口連接,在所述硅粉收集罐頂部的氮?dú)獬隹谔幵O(shè)有布袋過濾器。本實(shí)用新型的有益效果如下:本實(shí)用新型提供的回收裝置,工藝簡單,工藝條件易于實(shí)現(xiàn),且操作方便;再生產(chǎn)中可以將合成爐內(nèi)廢舊硅粉全部回收再使用,同時(shí)回收時(shí)不會對人員身體產(chǎn)生粉塵危害。
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