一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收方法,包括合成爐和硅粉收集罐,具體操作步驟包括,A、在合成爐正常停車后,對合成爐進(jìn)行置換;B、在置換合格后,將合成爐底部硅粉泄放閥與硅粉收集罐通過金屬軟管進(jìn)行相連,通過氮?dú)膺M(jìn)口管線向合成爐通入氮?dú)?;C、打開硅粉泄放閥,氮?dú)膺B同硅粉被帶入硅粉收集罐,氮?dú)馔ㄟ^硅粉收集罐頂部布袋過濾器被放空,使硅粉被收集到硅粉收集罐內(nèi),實(shí)現(xiàn)了硅粉的全部回收使用。本發(fā)明的有益效果如下:本方法工藝簡單,工藝條件易于實(shí)現(xiàn),且操作方便;再生產(chǎn)中可以將合成爐內(nèi)廢舊硅粉全部回收再使用,同時(shí)回收時(shí)不會(huì)對人員身體產(chǎn)生粉塵危害。本發(fā)明同時(shí)公開了三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置。
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“一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)